Quy trình thiết kế phòng sạch điện tử đạt chuẩn ISO 14644

Đặc thù phòng sạch điện tử

Trong các dự án thi công phòng sạch, phòng sạch điện tử có yêu cầu kỹ thuật khắt khe hơn nhiều so với các ngành khác. Ngoài kiểm soát bụi, hệ thống còn phải đảm bảo chống tĩnh điện (ESD), duy trì nhiệt độ ổn định (~22°C) và độ ẩm thấp (40–60% RH). Đặc biệt, với sản xuất vi mạch, cần kiểm soát nhiễm bẩn phân tử (AMC) và chống rung (micro-vibration) để đảm bảo độ chính xác của thiết bị.

Quy trình 6 bước thiết kế phòng sạch điện tử

• Xác định yêu cầu kỹ thuật: Phân tích dây chuyền sản xuất, lựa chọn cấp độ sạch theo ISO 14644 và tính toán tải nhiệt.

• Thiết kế mặt bằng: Phân khu chức năng, bố trí airlock, air shower và luồng di chuyển một chiều để tránh nhiễm chéo.

• Thiết kế HVAC: Tính toán lưu lượng gió, kiểm soát nhiệt ẩm và thiết lập chênh áp giữa các khu vực.

• Thiết kế kiến trúc: Sử dụng panel, trần và sàn chống tĩnh điện, đảm bảo kín khít và không phát sinh bụi.

• Thiết kế hệ thống phụ trợ: Bao gồm điện, chiếu sáng, khí nén, khí trơ và hệ thống nước siêu sạch (DI/RO).

• Lập bản vẽ & dự toán: Hoàn thiện shop drawing, mô hình BIM và bóc tách khối lượng để phục vụ thi công.

Tiêu chuẩn áp dụng

Để đảm bảo chất lượng thi công phòng sạch, phòng sạch điện tử phải tuân thủ nhiều tiêu chuẩn quốc tế:

• ISO 14644: Phân loại cấp độ sạch theo nồng độ hạt bụi.

• ANSI/ESD S20.20: Kiểm soát tĩnh điện cho linh kiện nhạy cảm.

• ASHRAE & NEBB: Quy định về thiết kế, vận hành và cân bằng hệ thống HVAC.

Intech E&C – Tổng thầu thiết kế và thi công phòng sạch điện tử

Intech E&C là đơn vị có kinh nghiệm triển khai nhiều dự án thi công phòng sạch điện tử – bán dẫn. Doanh nghiệp cung cấp giải pháp trọn gói từ thiết kế đến thi công, bao gồm hệ thống HVAC, kiểm soát tĩnh điện và hạ tầng kỹ thuật đồng bộ.

Các giải pháp nổi bật gồm thiết kế tích hợp kiến trúc – cơ điện, tối ưu năng lượng (FFU, điều khiển thông minh), ứng dụng BIM để giảm xung đột kỹ thuật và đảm bảo đáp ứng đầy đủ tiêu chuẩn quốc tế.

Xem chi tiết bài viết tại: https://intech.vn/thiet-ke-phong-sach-dien-tu/